民國二十六年（1937年），設石佛鎮。
1950年，分設石佛鎮（1951年改為鄉）、早陽鄉、晚陽鄉。
1952年，增設保峪鄉。
1954年，再增峪峰鄉。
1955年，5鄉并為石佛鄉和晚陽鄉。
1956年，晚陽鄉并入石佛鄉。
1958年9月，石佛鄉并入三陽公社。
1961年7月，分設石佛、早陽、晚陽3公社。
1966年和1968年，早陽、晚陽（1967年改為向陽）先后并入石佛，稱向陽。
1971年，復名石佛。
1983年，石佛公社改鄉。
2003年，原南河川鄉撤銷，馬家山、樊家灣、董家河三村歸并石佛鄉管轄。
2011年11月，石佛鄉改鎮。