河源，戰國時期屬楚，秦于龍川置縣。
南朝齊永明元年（483），龍川析地置河源縣，屬南海郡。
南梁天監二年（503）屬梁化郡，隋唐屬循州，南漢乾亨元年（917）析循州分置禎州、循州，河源地區屬循州。
宋天禧五年（1021）改禎州為惠州。
元屬惠州路。
明洪武二年（1369）循州并入惠州。
清代，河源屬惠州府。
1912-1920年屬潮循道。
1947年分屬廣東第5、第7行政督察區。
1949年屬東江專區。
1952年分屬粵東和粵北行政區。
1956年改屬惠陽專區。
1958年將和平并入連平，與龍川、河源劃歸韶關專區，紫金屬汕頭專區。
1962年恢復連平、和平兩縣。
1963年龍川、和平、連平、河源、紫金復歸惠陽專區，1970年屬惠陽地區。
1988年1月7日，國務院批準撤銷河源縣，設立地級河源市，沿用至今。