戰國時期屬楚。
秦代為南海郡。
兩漢時期屬荊州府桂陽郡湞陽縣地。
晉屬始興郡，仍湞陽地。
南朝梁承圣三年（554），從湞陽縣地析置翁源縣，隸屬衡州。
后又分屬清遠郡。
隋開皇九年（589），省諸郡，置廣州總管府，翁源隸焉。
唐武德四年（621），翁源隸韶州。
宋宣和三年（1121），析曲江廉平、福建兩鄉與翁源太平合置建福縣，亦屬韶州。
元至元十五年（1278），翁源并入曲江，隸廣東道韶州路，翁源立巡司，謂慰宣司。
大德五年（1301），翁源復縣，改屬英德路。
延祐六年（1319），翁源復并入曲江。
明洪武元年（1368），上半年又復縣，改稱岑水縣，隸韶州府。
次年（有說同年下半年），岑水復名翁源。
縣名一直沿用至今。
明、清屬韶州府。
1914年屬嶺南道。
1936年屬廣東省第三行政督察區。
1940年縣治遷龍仙。
1947年屬廣東第三行政督察區。
1949年屬北江臨時行政委員會。
1950年屬北江專區。
1952年屬粵北行政區。
1956年屬韶關專區。
1959年新豐縣及英德縣東部并入，縣治遷官渡。
1960年新豐縣和英德部分析出，縣治遷回龍仙。
1970年改屬韶關地區。
1983年屬韶關市。