1912年，屬吳縣。
1929年，今境分屬吳縣第九、第十三區。
1934年，屬吳縣第九區。
1947年，屬吳縣陽澄區。
1949年4月，仍屬吳縣陽澄區。
1950年3月，屬吳縣唯亭區。
1956年，分屬唯亭區、車坊區。
1957年3月，撤區并鄉，分屬吳縣唯亭、跨塘鄉。
1958年9月，改為唯亭、跨塘人民公社。
1961年4月，跨塘人民公社劃歸蘇州市郊。
1964年1月，跨塘人民公社劃出洋涇、板涇2大隊歸婁葑人民公社后，復歸吳縣。
1983年7月，政社分設，復設唯亭、跨塘鄉。
1985年9月，唯亭鄉改鎮。
1993年7月，跨塘鄉改鎮。
1994年5月，唯亭、跨塘等5鄉鎮劃歸蘇州市直接管轄，由蘇州工業園區管委會代管。
2000年12月，跨塘鎮倪浜、唐莊2村劃歸婁葑鎮。
2003年7月，跨塘鎮臨湖村劃歸婁葑鎮。
2005年5月，跨塘鎮并入唯亭鎮。
2012年12月26日，唯亭撤鎮設立街道。