唐、宋，名疊溪堡。
清為重要關隘。
道光元年（1821年），建場。
光緒十年（1884年），屬安縣北鄉一甲。
宣統二年（1910年），屬浮泉鄉。
民國十七年（1928年），屬安縣第十六區。
民國二十四年（1935年），屬安縣一轄區。
1950年，設鄉。
1952年，劃歸北川縣。
1958年6月，劃歸安縣；同年10月，改為茶坪公社。
1983年，公社改鄉。
2002年8月，改為千佛鎮。
2016年4月，國務院下發《國務院關于同意四川省調整綿陽市部分行政區劃的批復》：同意撤銷安縣，設立綿陽市安州區，以原安縣的行政區域為安州區的行政區域，千佛鎮改屬安州區。