秦時今臨安中西部屬故鄣郡朁地，東部屬會稽郡余杭縣西部地。
西漢開始，境內置縣，逐有縣名。
西漢元封二年（前109）置於朁縣，於，字無義，如“於越”為越人發語詞。
舊“朁”無水，《后漢書•郡國志》始加“水”作“潛”，稱於潛。
唐李吉甫《元和郡縣志》卷二五：“縣西有潛山，因以為名”，相傳唐堯時洪水泛濫，此山潛入水中，不沒者百丈，故稱潛山或百丈山，即今龍崗鎮百丈山（嶺）。
東漢永建四年（129）分會稽郡立吳郡，余杭屬吳郡。
東漢建安十六年（211），分余杭縣西部地立臨水縣，為臨安建縣之始，治在高陸（今高虹鎮高樂）。
三國吳黃武五年（226），分吳郡立東安郡，臨水縣屬之。
三國吳寶鼎元年（266），分置吳興郡，臨水縣屬之。
晉太康元年（280）改名臨安縣，北宋《太平寰宇記》卷九三：“臨安山，縣取此為名”。
隋開皇九年（589），并入余杭、於潛縣。
唐武德七年（624）分於潛地復置臨水縣，屬潛州。
武德八年（625）潛州廢，臨水縣并入於潛縣。
武周垂拱四年（688）分余杭、於潛地復置臨水縣，屬杭州。
光化三年（900）改名臨安縣，五代后梁開平元年（907）梁太祖即衛，加封錢镠王為吳越王。
錢镠于臨安建安國衣錦軍，取安民興國之意。
后梁開平二年（908）改臨安縣為安國縣。
北宋太平興國三年（978）復稱臨安縣。
南宋建炎三年（1129）升杭州為臨安府，臨安縣屬之。
紹興八年（1138），臨安升為畿縣。
景定三年（1262），臨安縣治從高陸遷至西墅保錦山下。
元改臨安府為杭州，未久改稱杭州路，領縣有臨安。
明代，杭州路復改稱杭州府，臨安縣屬之。
縣治從西墅遷至東市太廟山右，即今所在。
清因之。
民國元年（1912），廢杭州府，臨安縣直屬于省。
民國3年（1914）省下設道，臨安縣屬錢塘道。
民國16年（1927）廢道，又改省直轄。
民國24年（1935）8月，省下設吳興行政督察區，臨安縣屬之。
民國25年（1936）4月屬省第一行政督察區，民國36年（1947）5月改省直轄，10月改屬省第二行政督察區，民國37年（1948）7月改屬省第九行政督察區。
1949年5月，臨安縣解放，屬浙江省第九專區。
10月，第九專區改稱臨安專區，1950年3月臨安專區駐地從余杭遷至臨安城關鎮。
1953年2月臨安專區撤銷，臨安縣改屬嘉興專區。
1957年8月改屬建德專區。
1958年12月28日撤銷余杭縣，并入臨安縣；同月，建德專區撤銷，臨安縣改屬嘉興專區。
1960年9月，臨安、昌化二縣合并為臨安縣，改屬杭州市。
1961年原余杭縣地從臨安劃出。
1996年10月臨安撤縣設市。
2017年8月，臨安撤市設區。